22 nm , 32 nm CMOS üretim sürecini izleyen yarı iletken üretim sürecini belirtir . Bu teknolojiye sahip ilk işlemciler ,Nisan 2012.
POWER8 işlemciler , Intel Ivy Bridge ve Haswell işlemcilerle birlikte bu teknolojide üretilir .
ITRS'nin yol haritasına göre 22 nm'nin halefi, 14 nm teknolojisidir .